精密设备加工技术的发展直接影响到我国制造业的发展，也直接影响到尖端技术和国防工业的发展。机床是实现超精密设备加工的重要载体。机床的制造水平和研究水平至关重要。
本文论述了国内外精密设备的现状，介绍了国内外几种具有代表性的精密设备，分析了精密主轴部件、进给传动系统、传动系统等，超精密机床误差建模与补偿技术及数控加工工具。制造业是一个国家或地区国民经济的重要支柱。它的竞争力最终体现在新生产的工业产品的市场份额上。
制造技术是发展制造业、提高产品竞争力的关键。精密设备是制造业的前沿和发展方向。精密设备加工技术的发展直接影响到国家先进技术和国防工业的发展。世界各国对此高度重视，投入大量精力进行研发，并实行技术保密，控制关键加工技术和设备的出口。
随着航空航天、高精度仪器仪表、惯性导航平台、光学和激光技术的快速发展，以及在许多领域的广泛应用，对各种高精度复杂零件、高精度平面、曲面和复杂形状的加工要求日益迫切。目前，国外已研制出各种精密设备，精密车削、抛光机床，并开发出新的精密设备加工。
近年来，我国机床制造业虽然发展迅速，但年产量和出口量都有明显增长。中国已成为世界上最大的机床消费国和进口国。精密设备制造业取得了长足的进步，但与国外相比还有很大差距。中国并没有从根本上扭转大量进口昂贵的数控机床和精密机床，出口低成本、低档次机床的基本局面。
由于国防建设和尖端技术发展急需的一些重要的高精度机床和仪器被国外封锁和禁运，我们必须投入必要的人力物力，自主开发精密、超精密机床，使我国成为民族国防和科技发展不可控。北京机床研究院自主研发了一系列具有自主知识产权的超精密机床。
如方形系列超精密光学镜面铁机床、sphere超精密球面镜加工机床、等和nam-820超精密数控车床。这些机床的轴系精度小于0.05μm，导轨精度为0.1μm/200mm，并且RA≤0.002μm，其中nam-820超精密数控车床采用具有自主知识产权的超精密气动主轴，获得国家科技进步一等奖。
为了保证主轴回转精度小于0.05μm，x、z轴采用高精密设备，位置反馈采用高精度双频激光干涉仪，分辨率为0.01μm，纳米tm500纳米加工机床是我国最新一代纳米加工机床。机床滑板采用直线电机对称双驱动结构，最小运动控制量为1nm。
机床转盘采用静压轴承和高分辨率直接驱动结构，回转精度为0.005μM，机床主轴采用高精度静压轴承和整体电主轴结构，回转精度为0.005μM。